Установка высокочастотная "Кристаллизатор 110"
Общие сведения
Установка высокочастотная "Кристалл 110" предназначена для бестигельной зонной плавки в различных технологических процессах: выращивание монокристаллов кремния, обработка контрольных проб кремния - сырца, многопроходная очистка исходного сырья.
Структура условного обозначения
"Кристалл 110":
Кристалл - индекс;
1 - технологическое назначение;
10 - порядковый номер разработки;
УХЛ4.2 - климатическое исполнение и категория размещения по
ГОСТ 15150-69; но при нижнем значении температуры 10°С. + Окружающая среда невзрывоопасная, не содержащая токопроводящей пыли, агрессивных паров, газов, способных нарушить нормальную работу установки.
Установка соответствует требованиям ТУ 16-90 ИЕЛВ.682214.004 ТУ.
Нормативно-технический документ
ТУ 16-90 ИЕЛВ.682214.004 ТУ
Технические характеристики
Напряжение трехфазной питающей сети частотой 50 Гц, В - 380 Производительность, г/ч, не менее - 2,84 Частота рабочая МГц - 1,76+0,044 Мощность колебательная, кВт - 16+1,6 Мощность, потребляемая от сети, кВт, не более - 46 Максимальный диаметр выращиваемых слитков, мм - 40 Количество одновременно выращиваемых слитков, мм - 1 Длина рабочего хода (ход нижней каретки), мм - 600+20 Точность стабилизации системы регулирования нагрева по измеряемому параметру, %, не более - 0,3 Диапазон регулирования скорости рабочего хода (скорости нижней и верхней кареток), мм/мин - 0,5-20* Точность стабилизации системы управления - скорости рабочего хода верхней и нижней кареток, %, не более - 5 Расход охлаждающей воды, м3/ч, не менее - 5 Масса установки, кг - 2975
* Величина нижнего предела диапазона скорости рабочего хода должна быть не более 0,5 мм/мин, величина верхнего предела диапазона регулирования скорости рабочего хода - не менее 20 мм/мин.
Гарантийный срок - 18 мес со дня ввода в эксплуатацию.
Конструкция и принцип действия
Высокочастотная установка "Кристалл 110" (см. рисунок) выполнена из отдельных функциональных блоков: технологического блока, шкафа выпрямителя, пускового шкафа, шкафа генератора, шкафа управления.
Общий вид и габаритные размеры высокочастотной установки "Кристалл 110":
1 - шкаф пусковой;
2 - шкаф генератора;
3 - печь индукционная;
4 - шкаф автоматики;
5 - САУ;
6 - шкаф;
7 - шкаф выпрямителя
Процесс зонной очистки проводится в камере блока печи в вакууме, а выращивание монокристаллов в той же камере в среде инертного газа. Наблюдение за процессом ведется через смотровое окно в двери камеры. Управление процессом осуществляется с пульта, расположенного на технологическом блоке. В комплект поставки высокочастотной установки "Кристалл 110" входят: печь индукционная, шкаф генератора, шкаф выпрямителя, шкаф автоматики, шкаф пусковой, шкаф, система автоматического управления, ЗИП (запасные части и принадлежности 1 компл.), эксплуатационная документация.
Характеристики Электротехнического оборудования
Характеристики станков
Характеристики КПО
Характеристики импортного оборудования
Характеристики насосного оборудования
Марки стали и сплавов
Прочее оборудование
