Установка высокочастотная "Кристалл 803"
Общие сведения
Установка "Кристалл 803" предназначена для выращивания монокристаллов особо чистого германия методом Чохральского по технологии заказчика диаметром до 80 мм.
Условия эксплуатации
Окружающая среда невзрывоопасная, не содержащая токопроводящей пыли, не содержащая агрессивных паров, газов, способных нарушить нормальную работу установки.
УХЛ4 - климатическое исполнение и категория размещения по ГОСТ 15150 - 69, нижнее значение температуры 10°С.
Установка соответствует требованиям ИЕЛВ.682324. 007. ИЕЛВ.682324.007
Технические характеристики
Максимальная масса загрузки в тигель, кг - 6 Максимальный диаметр выращиваемого монокристалла, мм - 80 Максимальная длина выращиваемого монокристалла, мм - 500 Мощность, потребляемая от сети, кВт, не более - 100 Частота рабочая, кГц - 440+11 Длина рабочего хода, мм: штока затравки - 500 штока тигля - 270 Рабочая скорость, мм/мин: штока затравки - 0,1-2 штока тигля - 0,01-0,5 Скорость вращения, об/мин: штока затравки - 27-50 штока тигля - 0,5-10 Скорость установочного перемещения штоков затравки и тигля, мм/мин - 25-500 Расход охлаждающей воды, м3/ч - 10
Гарантийный срок - 18 мес со дня ввода в эксплуатацию.
Конструкция и принцип действия
Высокочастотная установка "Кристалл 803" состоит (см. рисунок) из блока печи, блока генератора, шкафа управления и системы газовакуумной аппаратуры. Плавка ведется в технологической камере в атмосфере проточного водорода (1 - 10 л/мин). Предварительно камера вакуумируется до величины остаточного давления 2·105 мм рт. ст. В системе откачки камеры используется турбомолекулярный насос. Газовакуумные коммуникации выполнены из нержавеющей стали.
Общий вид и габаритные размеры высокочастотной установки "Кристалл 803":
1 - блок генератора;
2 - блок печи;
3 - блок автоматики
Наблюдение за процессом ведется через смотровое окно в камере. Для автоматического регулирования температуры тигля используется оптическая система АПИР-С. Управление процессом производится с отдельно стоящего пульта управления.
Предусмотрена возможность программного регулирования скоростей рабочего перемещения и вращения штоков затравки и тигля. В комплект поставки установки "Кристалл 803" входят: блок печи, блок генератора, шкаф управления и система газовакуумной аппаратуры, ЗИП, эксплуатационная документация.
Характеристики Электротехнического оборудования
Характеристики станков
Характеристики КПО
Характеристики импортного оборудования
Характеристики насосного оборудования
Марки стали и сплавов
Прочее оборудование
