Установка высокочастотная "Кристалл 502"
Общие сведения
Установка высокочастотная "Кристалл 502" предназначена для бестигельного выращивания с пъедестала в вакууме тонких стержней кремния, применяемых в процессах водородного восстановления кремния.
Условия эксплуатации
Окружающая среда невзрывоопасная, не содержащая токопроводящей пыли, агрессивных паров, газов, способных нарушить нормальную работу установки.
УХЛ4 - климатическое исполнение и категория размещения по ГОСТ 15150 - 69, нижнее значение температуры 10°С.
Установка соответствует требованиям ИЕЛВ.682214.008.
Технические характеристики
Количество одновременно вытягиваемых прутков, шт. - до 7 Диаметр вытягиваемых прутков, мм - 4-7 Диаметр первичного стержня (пъедестала) мм - 70 - 85 Длина вытягиваемых прутков, мм - до 2000 Длина первичного стержня, мм - 70-100 Диапазон регулирования скорости вытягивания, мм/мин - 6-60 Рабочая частота, МГц - 1,76+0,044 Мощность, потребляемая от сети, кВт - 70 Расход охлаждающей воды, м3/ч - не более 5 Масса установки, кг - 2850 Масса блока технологического, кг - 1700 Масса блока выпрямителя, кг - 1150
Гарантийный срок - 18 мес со дня ввода в эксплуатацию.
Конструкция и принцип действия
Установка высокочастотная "Кристалл 502" (см. рисунок) состоит из технологического блока, включающего в себя вакуумную камеру, систему откачки, механизмы перемещения, высокочастотный генератор и блока выпрямителя.
Общий вид и габаритные размеры высокочастотной установки "Кристалл 502":
1 - блок генератора;
2 - блок печи;
3 - блок автоматики;
4 - блок выпрямителя
Для сокращения общей высоты установки ходовой винт расположен внутри вакуумной камеры. В комплект поставки установки "Кристалл 502" входят: блок технологический и блок выпрямителя, ЗИП, эксплуатационная документация.
Характеристики Электротехнического оборудования
Характеристики станков
Характеристики КПО
Характеристики импортного оборудования
Характеристики насосного оборудования
Марки стали и сплавов
Прочее оборудование
