Установка высокочастотная "Кристалл 114"
Общие сведения
Установка высокочастотная "Кристалл 114" предназначена для получения монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки по технологии заказчика.
Структура условного обозначения
"Кристалл 114":
Кристалл - индекс;
1 - технологическое назначение установки;
14 - порядковый номер разработки;
УХЛ4 - климатическое исполнение и категория размещения по ГОСТ
15150-69, нижнее значение температуры 10°С. Окружающая среда невзрывоопасная, не содержащая токопроводящей пыли, не содержащая агрессивных газов, паров, способных нарушить нормальную работу установки.
Установка соответствует требованиям ТГИЛ.682461. 005. ТГИЛ.682461.005
Технические характеристики
Максимальный диаметр получаемого кристалла, мм - 105 Длина загрузки, мм, не менее - 1000 Мощность колебательная, кВт, не менее - 60 Мощность потребляемая от сети, кВт, не более - 120 Частота рабочая, МГц - 2,5 Длина хода верхней и нижней кареток, мм, не менее - 1000 Величина смещения индуктора относительно нижнего штока, мм, не менее Величина смещения верхнего штока относительно нижнего штока, мм, не менее - 25 Рабочая скорость верхней и нижней кареток, мм/мин - 0,5-20 Установочная скорость верхней и нижней кареток, мм/мин - 8-600 Скорость вращения верхнего штока, об/мин - 0,5-10 Скорость вращения нижнего штока, об/мин - 0,5-50 Масса установки, кг, не более - 3800
Гарантийный срок - 18 мес со дня ввода в эксплуатацию.
Конструкция и принцип действия
Высокочастотная установка "Кристалл 114" (см. рисунок) состоит из блока печи, блока генератора, блока охлаждения, блока автоматики, блока САУ, пускового блока, блока выпрямителя. Плавка ведется в технологической камере блока печи, позволяющей вести процесс, как в вакууме, так и в атмосфере аргона. Наблюдение за процессом ведется через смотровое окно в камере. С целью повышения стерильности в установке предусмотрена промежуточная откачка всех подвижных уплотнений и уплотнения двери камеры.
Общий вид и габаритные размеры высокочастотной установки "Кристалл 114"
1 - блок охлаждения;
2 - блок генератора;
3 - блок печи;
4 - блок автоматики;
5 - блок САУ;
6 - блок пусковой;
7 - фундамент;
8 - блок выпрямителя;
9 - форвакуумные насосы
Печь имеет узел поддержки выращенного кристалла.
Установка оснащена системой автоматического управления, позволяющей производить без участия плавильщика процесс разращивания кристалла до нужного диаметра и дальнейшее выращивание кристалла постоянного диаметра. В комплект поставки установки "Кристалл 114" входят: блок печи, блок генератора, блок охлаждения, блок автоматики, блок САУ, форвакуумные насосы, ЗИП (запасные части и принадлежности), эксплуатационная документация.
Характеристики Электротехнического оборудования
Характеристики станков
Характеристики КПО
Характеристики импортного оборудования
Характеристики насосного оборудования
Марки стали и сплавов
Прочее оборудование
