Установка высокочастотная "Кристалл 112"
Общие сведения
Установка высокочастотная "Кристалл 112" предназначена для получения монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки как дислокационных, так и бездислокационных, по технологии заказчика.
Структура условного обозначения
"Кристалл 112":
Кристалл - индекс;
1 - технологическое назначение установки;
12 - порядковый номер разработки;
УХЛ4 - климатическое исполнение и категория размещения по ГОСТ
15150 - 69; нижнее значение температуры +10°С. Окружающая среда невзрывоопасная, не содержащая токопроводящей пыли, не содержащая агрессивных паров, газов, способных нарушить нормальную работу установки.
Установка соответствует требованиям ИЕЛВ. 682314.002 ИЕЛВ.682314.002
Технические характеристики
Максимальный диаметр получаемого кристалла, мм - 65 Длина загрузки, мм, не менее - 600 Мощность колебательная, кВт, не менее - 40 Мощность потребляемая, кВт, не более - 170 Частота рабочая*, МГц - 5,28; 1,76 Длина хода верхней и нижней кареток, мм, не менее - 600 Величина смещения индуктора относительно нижнего штока, мм, не менее Величина смещения верхнего штока относительно нижнего штока, мм, не менее - +30 Рабочая скорость верхней и нижней кареток, мм/мин - 0,1-7 Установочная скорость верхней и нижней кареток, мм/мин - 3-300 Скорость вращения верхнего штока, об/мин - 0,2-10 Скорость вращения нижнего штока, об/мин - 0,5-50 Масса установки, кг, не более - 3600
*Конструкция предусматривает перестройку частоты генератора силами потребителя.
Гарантийный срок - 18 мес со дня ввода в эксплуатацию.
Конструкция и принцип действия
Высокочастотная установка "Кристалл 112" (см. рисунок) состоит из блока печи, блока выпрямителя, блока САУ, блока охлаждения, блока генератора, пускового блока, блока автоматики.
Общий вид и габаритные размеры высокочастотной установки "Кристалл 112"
1 - блок пусковой;
2 - блок генератора;
3 - блок автоматики;
4 - блок охлаждения;
5 - блок печи;
6 - блок выпрямителя;
7 - блок САУ;
8 - форвакуумные насосы
В установке плавка ведется в технологической камере, позволяющей вести процесс как в вакууме, так и в атмосфере аргона. Наблюдение за процессом ведется через смотровое окно в камере. С целью повышения стерильности в установке предусмотрена промежуточная откачка всех подвижных уплотнений и уплотнения двери камеры.
Установка оснащена системой автоматического управления, позволяющей производить без участия плавильщика процесс разращивания кристалла до нужного диаметра и дальнейшее выращивание кристалла постоянного диаметра. В комплект поставки установки "Кристалл 112" входят: блок печи, блок охлаждения, блок выпрямителя, блок САУ, блок автоматики, блок генератора, блок пусковой, форвакуумные насосы, запасные части и принадлежности 1 компл., эксплуатационная документация.
Характеристики Электротехнического оборудования
Характеристики станков
Характеристики КПО
Характеристики импортного оборудования
Характеристики насосного оборудования
Марки стали и сплавов
Прочее оборудование
