Установка ионно-плазменная камерная вакуумная ННВ-6.6И1
Общие сведения
Установка ионно-плазменная камерная вакуумная ННВ-6.6-И1 (далее "установка") предназначена для нанесения упрочняющих однослойных и многослойных покрытий на инструмент широкой номенклатуры диаметром до 200 мм и длиной до 250 мм способом конденсации вещества с ионной бомбардировкой.
Установка может использоваться при напылении коронок зубов, а также при декоративном напылении на изделиях из стекла и металла, фарфора и пластмассы.
Структура условного обозначения
ННВ-6.6-И1:
Н - метод нагрева - ионный;
Н - основной конструктивный признак - камерная;
В - среда в рабочем пространстве - вакуум;
6 - диаметр рабочей камеры, дм;
6 - высота рабочей камеры, дм;
И1 - порядковый номер исполнения.
Условия эксплуатации
Высота над уровнем моря не более 1000 м.
Температура окружающего воздуха от 10 до 35°С.
Относительная влажность воздуха до 80 % при температуре 20°С и не более 50 % при температуре 35°С.
окружающая среда невзрывоопасна, не содержит агрессивные газы и пары в концентрациях, вредно действующих на металлы и изоляцию, а также токопроводящую пыль; атмосферное давление от 96,0 до 104,0 кПа (720 - 780 мм рт. ст.).
Технические характеристики
Потребляемая мощность, кВт - 50+5
Напряжение питающей сети, В - 380+19/220+11
Число фаз - 3
Частота тока, Гц - 50
Скорость осаждения покрытия (нитрида титана), мкм/ч - от 13 до 40
Номинальный ток высоковольтного источника питания подложки, А - 20
Диапазон плавного регулирования величины напряжения высоковольтного источника питания подложки, В - от 100 до 1500
Диапазон плавного регулирования величины напряжения низковольтного источника питания подложки, В - от 20 до 280
Максимальная нагрузка на шпиндель, кг - 110
Максимально допустимая нагрузка на ось сателлита механизма вращения, кг - 10
Диапазон плавного регулирования частоты вращения стола (в обе стороны), мин-1 - от 0,5 до 12
Длительность цикла упрочнения инструмента, ч - от 2 до 2,5
Размеры рабочей камеры, мм: диаметр - 600+30
высота (длина) - 600-20
Количество электродов токоподводящих (испарителей) - 3
Остаточное давление в камере, Па (мм рт.ст.) - от 6,65·10-3 до 6,65·10-1 (от 5·10-5 до 5·10-3)
Расход охлаждающей воды, м3/ч, не более - 2
Масса установки, т - 3,0
Гарантийный срок работы - 1 год.
Конструкция и принцип действия
Установка (рис. 1, 2) состоит из следующих основных узлов: корпус; дверца; электрод токоподводящий (электродуговой испаритель);
система водоохлаждения; вакуумная система; механизм вращения;
основание; электрическая часть.
Общий вид и габаритные размеры установки ННВ-6.6-И1
1 - дверца;
2 - электрод токоподводящий (электродуговой испаритель);
3 - система водоохлаждения;
4 - вакуумная система;
5 - механизм вращения;
6 - основание
Вид сверху установки ННВ-6.6-И1
1 - корпус;
2 - электрическая часть
Корпус имеет вид вертикального цилиндрического сосуда с боковым проемом, который закрывает дверца. Выполнен с двойными стенками, образующими полость водоохлаждения (или подогрева при откачке камеры). На боковых стенках корпуса установлены два токоподводящих электрода. Корпус с дверцей образует вакуумную камеру.
Дверца имеет двойные стенки, которые образуют полость водоохлаждения. На дверце установлен третий токоподводящий электрод, который может быть размещен и на верхней плоскости корпуса.
Электрод токоподводящий, представляющий собой электродуговой испаритель, состоит из корпуса и держателя, которые электрически изолированы друг от друга, и защитного кожуха.
Система водоохлаждения состоит из панели водораспределительной и трубопроводов. В панели предусмотрена воронка для визуального контроля протока воды, а также датчики сигнализаторов уровня. Расход воды регулируют вентили, установленные на коллекторе.
Вакуумная система обеспечивает создание в рабочей камере необходимого рабочего давления. Регулирование остаточного давления выполняется с помощью автоматического регулятора напуска рабочего газа.
Механизм вращения имеет электромеханический привод, состоящий из электродвигателя постоянного тока и редуктора, соединенных клиноременной передачей. Электродвигатель позволяет изменять число оборотов и направление вращения.
Основание предназначено для монтажа на нем камеры, вакуумной системы, системы водоохлаждения и подогрева. В тумбе основания расположен механизм вращения и блоки поджига дуги. Электродвигатель установлен на плите, которая крепится к тумбе основания.
Вакуумная система, панель водоохлаждения расположены на площадке основания. В площадке под съемным листом размещены провода цепей управления и силовые цепи.
Электрическая часть служит для электроснабжения установки и управления технологическим процессом. Электроснабжение производится от трехфазной сети напряжением 380 В, цепи управления питаются напряжением 220 В и частотой 50 Гц.
Высоковольтный источник питания, включающий в себя тиристорный преобразователь напряжения, высоковольтный трансформатор и выпрямитель, обеспечивает регулирование напряжения в пределах от 100 до 1500 В.
Источник опорного напряжения, включающий в себя тиристорный преобразователь (общий с высоковольтным источником), трансформатор и выпрямитель, обеспечивает регулирование напряжения от 20 до 280 В.
Для получения при нанесении покрытий нитридов металла в установке предусмотрена система напуска рабочего газа (азота). Система состоит из клапана с электромагнитным приводом, клапана напускного регулируемого (автоматического натекателя) и электронного блока управления.
В комплект поставки входят: установка в частично разобранном виде; комплекты запасных частей по ведомости ЗИП, эксплуатационной документации и эксплуатационной документации на покупное оборудование.
Характеристики Электротехнического оборудования
Характеристики станков
Характеристики КПО
Характеристики импортного оборудования
Характеристики насосного оборудования
Марки стали и сплавов
Прочее оборудование
